reattore riscaldante mocvd con induzione
I reattori MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) con riscaldamento a induzione sono una tecnologia volta a migliorare l'efficienza del riscaldamento e a ridurre l'accoppiamento magnetico dannoso con l'ingresso del gas. I reattori MOCVD convenzionali con riscaldamento a induzione spesso hanno la bobina di induzione posizionata all'esterno della camera, il che può comportare un riscaldamento meno efficiente e potenziali interferenze magnetiche con il sistema di erogazione del gas. Recenti… Per saperne di più